檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
PLR3000光纖激光尺
- 這真不是您需要的產(chǎn)品?
- 品 牌:
- 中圖儀器
- 光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設(shè)備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計(jì)。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量,分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000系列光纖激光尺配置高穩(wěn)定氦氖激光光源,激光通過保偏光纖引導(dǎo),用戶可輕松將干涉儀配置到任意需要測量位置,最大限度減小阿貝誤差??筛鶕?jù)用戶需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實(shí)現(xiàn)多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置,用戶可根據(jù)實(shí)際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內(nèi)置干涉鏡組的測量探頭,滿足用戶各種復(fù)雜場景應(yīng)用。
核心優(yōu)勢
1. 高精度
(1)分辨率10nm(可拓展),線性測量精度0.2ppm,穩(wěn)頻精度0.02ppm,滿足納米級測量需求。
(2)環(huán)境氣象站實(shí)時補(bǔ)償溫度、濕度、氣壓對測量的影響,確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定。
2. 靈活配置
(1)支持單軸、雙軸、三軸輸出,輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測量。
(2)可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭,適配復(fù)雜場景。
3. 高穩(wěn)定性與便捷性
(1)激光光源與探頭分離設(shè)計(jì),3米鎧裝光纖連接,避免設(shè)備散熱干擾,安裝靈活。
(2)體積小巧,適配狹小空間,降低阿貝誤差風(fēng)險。
4. 廣泛適用性
大量程4米(可拓展),支持動態(tài)速度達(dá)2m/s,覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運(yùn)動場景。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造:光刻機(jī)晶圓定位、精密工件臺反饋控制。
航空航天:發(fā)動機(jī)葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn)。
精密加工:數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動位置反饋、微機(jī)械元件測量。
科研領(lǐng)域:光學(xué)平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制。
深圳市中圖儀器科技有限公司
羅健
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