中圖儀器光學(xué)3D表面輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，在超精密加工顯微測(cè)量場(chǎng)景中能對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、面形輪廓、腐蝕情況、粗糙度、臺(tái)階高度等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析，如對(duì)飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)葉片表面粗糙度的測(cè)量、衍射原件輪廓尺寸的測(cè)量、金字塔金剛石磁頭表面輪廓的測(cè)量等。

數(shù)秒內(nèi)就可以獲得平面和曲面表面上測(cè)量所有常見(jiàn)的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級(jí)來(lái)組合多個(gè)影像以提供大面積測(cè)量。從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

超光滑透鏡測(cè)量
超光滑透鏡測(cè)量摩擦磨損形貌測(cè)量
金屬片磨損分析
金屬光滑凹面輪廓測(cè)量
 

現(xiàn)有的光學(xué)非接觸測(cè)量方法難以完成高反射曲面零件的三維形貌高精度測(cè)量，也難以滿足現(xiàn)代工業(yè)數(shù)字化需求。利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的光學(xué)3D表面輪廓儀，就是一種用于對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維檢測(cè)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，它的特點(diǎn)是可以達(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度。測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌，可以快速獲取被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測(cè)，主要用于成品質(zhì)量的管理，確保良品合格率。