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三坐標(biāo)幾何誤差激光干涉測(cè)量?jī)x

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  • 深圳市中圖儀器科技有限公司
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    • 中圖儀器SJ6000三坐標(biāo)幾何誤差激光干涉測(cè)量?jī)x利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量，具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)?？梢詸z測(cè)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。 SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。 產(chǎn)品功能 （1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量； （2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等； （3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)； （4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)； （5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等； （6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。 測(cè)量軟件 （1）友好的人機(jī)界面； （2）豐富的應(yīng)用功能模塊； （3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋? （4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理； （5）支持中文、英文和俄文界面； （6）支持企業(yè)專屬模板定制。 SJ6000三坐標(biāo)幾何誤差激光干涉測(cè)量?jī)x以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。 應(yīng)用案例 機(jī)床測(cè)量.jpg 應(yīng)用場(chǎng)景.jpg 部分技術(shù)指標(biāo) 主機(jī) 穩(wěn)頻精度：0.05ppm 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz 預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘 工作溫度范圍：(0~40)℃ 存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃ 環(huán)境濕度：(0~95)%RH 環(huán)境補(bǔ)償單元 空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃ 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃ 空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH 大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa 線性測(cè)量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) 角度測(cè)量范圍：±10° 平面度測(cè)量范圍：±1.5mm 直線度測(cè)量范圍：±3mm 垂直度測(cè)量范圍：±3/M mm/m 便攜箱尺寸：613*460*230mm 標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg 懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。 如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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