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深圳市中圖儀器科技有限公司

檢測認證人脈交流通訊錄

光學測量輪廓儀

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品？
  • 品　　牌：
  • 主要規(guī)格：
  • 用　　途：
    • 中圖儀器SuperViewW系列光學測量輪廓儀專用于超精密加工領(lǐng)域，分辨率可達0.1nm，屬于3D測量領(lǐng)域高精度檢測儀器之一。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。 SuperViewW系列光學測量輪廓儀采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復(fù)性進行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復(fù)精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據(jù)標準差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。 技術(shù)參數(shù) 產(chǎn)品型號：SuperView W1系列 產(chǎn)品名稱：光學3D表面輪廓儀 影像系統(tǒng)：1024×1024 光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選） 干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選） XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋 Z軸行程：100mm，電動 Z向掃描范圍：10mm Z向分辨率：0.1nm 水平調(diào)整：±5°手動 粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm 臺階高測量：準確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ 主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高 生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司 注釋：更多詳細產(chǎn)品信息，請聯(lián)系我們獲取 SuperViewW系列光學測量輪廓儀支持自動聚焦功能，只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面（小于鏡頭工作距離），選擇好聚焦范圍，即可自動聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。 特點 一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件； 二是測量速度快，不必像探頭逐點進行測量； 三是不必作探頭半徑補正，光點位置就是工件表面測量的位置； 四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準確的得到理想的測量結(jié)果。 深圳市中圖儀器股份有限公司成立十多年來，一直堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐，在微納米運動設(shè)計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設(shè)計、制造優(yōu)勢，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。

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