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機(jī)構(gòu)登錄

*平面平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的平面度。 |
平面直徑d(mm) | 基本參數(shù) | |||
1級 | 2級 | |||
d范圍內(nèi) | 2/3d范圍內(nèi) | d范圍內(nèi) | 2/3d范圍內(nèi) | |
30 45 60 | 0.03 | ---- | 0.1 | 0.05 |
80 100 150 | 0.05 | 0.03 | ||
200 250 300 | 0.08 0.1 0.15 | 0.05 0.05 0.09 | 0.12 0.15 0.2 | 0.06 0.08 0.1 |