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深圳市中圖儀器科技有限公司

檢測認證人脈交流通訊錄

白光干涉3D顯微測量儀

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  • 品　　牌：
  • 深圳市中圖儀器科技有限公司
  • 主要規(guī)格：
  • 用　　途：
    • 中圖儀器SuperViewW白光干涉3D顯微測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。 白光干涉3D顯微測量儀 SuperViewW白光干涉3D顯微測量儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。 產品功能 1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量； 2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能； 3)多區(qū)域自動測量：可設置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位，一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能； 4)自動拼接測量；支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能，可自定義測量區(qū)域，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量； 5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊，可預先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟，結合自動單測量功能，實現(xiàn)一鍵測量； 6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能； 7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。 8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板，針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析； 9)數(shù)據(jù)報表導出：支持word、excel、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導出功能，支持圖像、數(shù)值結果的導出； 10)故障排查功能：配置診斷模塊，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像； 11)便捷操作功能：設備配備操縱桿，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節(jié)、光源亮度調節(jié)、急停等； 12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率，為設備調試和故障排查提供定量依據(jù)； 13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼?，確保測量數(shù)據(jù)的高精度； 14)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命； 15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護，軟件ZSTOP防撞保護，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且伴有報警聲；設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險。 應用領域圖片 對各種產品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 白光干涉3D顯微測量儀 自動拼接測量功能 針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求，中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。 白光干涉3D顯微測量儀 部分技術指標 型號 W1 光源 白光LED 影像系統(tǒng) 1024×1024 干涉物鏡 標配：10× 選配：2.5×;5×;20×;50×;100× 光學ZOOM 標配：0.5× 選配：0.375×;0.75×;1× 物鏡塔臺 標配：3孔手動 選配：5孔電動 XY位移平臺 尺寸 320×200㎜ 移動范圍 140×100㎜ 負載 10kg 控制方式 電動 Z軸聚焦 行程 100㎜ 控制方式 電動 Z向掃描范圍 10 ㎜ 主機尺寸（長×寬×高） 700×606×920㎜ 懇請注意：因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要，本產品資料中有關內容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。 如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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