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西安測維光電技術(shù)有限公司

檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄

硅芯片檢查顯微鏡LW300MT

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品?
  • 品  牌:
  • 主要規(guī)格:
  • LW300MT
  • 用  途:
  • 適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤的生產(chǎn)工藝檢查;可以方便的快移和精確的位移檢查;也可以適用其它需較大面積標(biāo)本的工藝檢查。
    • 儀器用途:

      LW300MT專為微電子行業(yè)量身定做,適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤的生產(chǎn)工藝檢查;可以方便的快移和精確的位移檢查;也可以適用其它需較大面積標(biāo)本的工藝檢查。

      技術(shù)要求:

      目  鏡:10X 廣角目鏡, 焦距25 mm, 視場數(shù)Φ22 mm。

      三目鏡: 30°傾斜,瞳距:53~75 mm。

      物  鏡:無限遠(yuǎn)平場消色差明/暗視場物鏡 (無蓋玻片)
       
      放大倍數(shù)
      數(shù)值孔徑
      工作距離(mm)
      備注
      5X
      0.12
      9.70
       
      10X
      0.25
      3.73
      20X
      0.40
      7.23
      40X
      0.60
      3.04
       
       
       
       
       
       

      轉(zhuǎn)換器: 四孔滾珠內(nèi)定位轉(zhuǎn)換器。

      載物臺:雙層機(jī)械式載物臺, 尺寸:210 X 140 mm,移動范圍:75 X 50 mm。

      聚光鏡:阿貝聚光鏡(帶孔徑光欄, 數(shù)值孔徑1.25)。

      調(diào)焦機(jī)構(gòu):粗微同軸調(diào)焦,粗動手輪松緊可調(diào),帶限位鎖緊裝置,微動格值2μm/格。

      照  明:上光源(落射照明)12V50W鹵素?zé)?,亮度可調(diào)。下光源(透射照明)12V30W 鹵素?zé)?,亮度可調(diào)。

      電  源:輸入電源電壓 (85~265V 50/60Hz)。

      選購件:

      1、目鏡:WF16X/11mm,WF20X/9mm,10X帶尺可調(diào)目鏡
      2、物鏡:PL4X,PLL40X,PLL50X,PLL60X,PLL100X(干鏡),PL100X(oil)
      3、攝像系統(tǒng):數(shù)碼攝像頭130萬或300萬,數(shù)碼相機(jī)
      4、測量軟件,金相分析軟件等

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