高精度溫度傳感器
其形為薄膜鉑電阻,是用真空沉積的薄膜技術(shù)把膜濺射在陶瓷基片上。膜厚在2um以內(nèi),用玻璃燒結(jié)料把Ni(或Pd)引線固定,經(jīng)激光調(diào)阻制成的薄膜元件。
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注: |t| 為感溫元件實測溫度。
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