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上海巨納科技有限公司

檢測認證人脈交流通訊錄

 Nanofocus μSurf (白光共軛焦輪廓儀)

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品？
  • 品　　牌：
  • 主要規(guī)格：
  • 用　　途：
    • 產(chǎn)品類型：白光、共軛焦、非接觸 μSurf結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，精確量測物體高度 由于使用了共軛焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他同類公司產(chǎn)品使用較多的干涉法相比，可以精確量測物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢相當明顯。  應用 μSurf用來測量表面物理形貌，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本。  精密部件：檢測對表面磨損，表面粗糙度，表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件，比如發(fā)動機汽缸;  生命科學：測量stents支架上鍍層厚度等  微電子機械系統(tǒng)：微型器件的檢測，醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測，如基因芯片等  半導體: 檢測微型電子系統(tǒng)，封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計  技術(shù)參數(shù) Measuring head CX CI Image acquistion module BM 512 Digital camera with progressive- scan technology, up to 25fps, 512 x 512 Pixel, 8bit, Firewire Fast digital camera with progressive- scan technology, up to 58fps, 512 x 512 Pixel, 12 Bit, Firewirs light source, adjustable Halogen light source (LS 100) Powerfull-Xe-light source (LX 100, LX 180) Scan modules 　 x, y-axis module MS 50 Precision x, y-table, 50 x 50mm, resolution 0.1μm z-axis module ZM 100 Precision scanning module, range 100mm, resolution 0.1μm z-axis module NV 350 - Fast precision scanning module (Piezo), measuring range 350μm, resolution < 1nm Optic modules1) 1600 S 800 L / S / XS 320 L / S / XS 160 L / S Measurement area (x/y)(um)2 (XY測量范圍) 1600 x 1600 800 x 800 320 x 320 160 x 160 Numerical aperture (NA值) 0.3 0.4 / 0.46 / 0.6 0.5 / 0.8 / 0.95 0.8 / 0.95 Working distance(mm) Z方向測量范圍 10.1 12 / 3.1 / 0.9 10.6 / 0.66 / 0.3 3.4 / 0.31 Resolution in z-direction(nm)CX (Z方向范圍分辨率)　　　　 CI2) 50 20 35 / 30 / - 6 / 5 / 4 25 / 15 / - 4 / 2 / 2 - 2 / 1 Resolution in x,y-direction (XY分辨率) 2.9 1.5 0.6 0.31 1) L : long working distance, S : normal working distance, XS : short working distance, 2) noise level (only with NV350)

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