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射頻磁控濺射鍍膜儀

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    •   射頻磁控濺射鍍膜儀   主要應(yīng)用于配套掃描電鏡的樣品制備工作,同時(shí)可以滿足不同用戶對(duì)樣品涂層的制備要求。擁有優(yōu)秀的濺射系統(tǒng),可以更換不同的金屬靶材(金,鉑,銀,銥,鉻,銅等),實(shí)現(xiàn)高要求的細(xì)粒涂層。GVC系列為您提供優(yōu)質(zhì)的樣品制備,輕松助您取得更好地材料研究樣品, 獲得高質(zhì)量的顯微鏡觀測(cè)效果。   GVC-1000 全自動(dòng)離子濺射儀(射頻磁控濺射鍍膜儀)性能參數(shù)   1、離子濺射儀工作原理:磁控濺射   2、可選靶材:金,鉑,金鈀合金,鉛,銀,銅,鉻,銻等   3、真空室:φ128×100高硅硼玻璃   4、全自動(dòng)操作,簡(jiǎn)單易用,非常適用鎢燈絲、臺(tái)式掃描電鏡等   (1)濺射電流自動(dòng)調(diào)整——設(shè)定濺射電流后,系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)真空度,從而達(dá)到設(shè)定的濺射電流,調(diào)整時(shí)間<5s,波動(dòng)范圍<±5%;  ?。?)無需按“實(shí)驗(yàn)”鍵調(diào)整濺射電流、無需操作“進(jìn)氣閥”。  ?。?)濺射時(shí)間自動(dòng)記憶——同類樣品一次設(shè)定即可;  ?。?)參數(shù)改變自動(dòng)調(diào)整——濺射過程中可以隨時(shí)調(diào)整濺射電流和濺射時(shí)長(zhǎng),系統(tǒng)自動(dòng)計(jì)算疊加,無需終止濺射過程;   (5)工作完成自動(dòng)放氣;  ?。?)樣品臺(tái)高度調(diào)節(jié)1秒完成;  ?。?)濺射過程可以利用曲線顯示,清晰直觀。  ?。?)極限真空:小于1Pa   5、軟硬件互鎖,防誤操作,安全可靠  ?。?)真空度高于100Pa,啟動(dòng)真空保護(hù),無法濺射;   (2)濺射電流高于50mA,停止濺射過程;  ?。?)真空泵工作時(shí),系統(tǒng)無法進(jìn)行放氣操作;   6、鍍層均勻,導(dǎo)電性良好。   https://www.chem17.com/st506164/product_38091672.html   http://www.gevee-tech.com.cn/product/198.html

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