檢測認證人脈交流通訊錄
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提供上海進口真空鍍膜機批發(fā)端品供
上海端品提供法國純進口蒸鍍設備,自動/手動操作可選。舉例如下:
1
高真空鍍膜系統(tǒng)腔室,數(shù)量:一個:
1.1
矩形雙門蒸鍍腔,集成在手套箱背部;
1.2
內部尺寸:380x380x500mm(寬x高x深),容積:72L;
1.3
腔體帶有內外兩個門,內部/外部帶有手動關閉結構,材質:鋁合金,鍍鎳,內部:帶有滑門,可左右滑動,外部:外門可打開,從事服務和維護工作;
1.4
腔體材質:不銹鋼;
1.5
腔體內部帶有防護層,以便于拆除和清潔腔體;
1.6
前門帶有DN100的觀察窗;
1.7
中間有1個DN160 ISO-K高真空接口,周圍布置14個基本高真空接口;
1.8
極限真空可達:<9x10-7mbar;
2
高真空鍍膜系統(tǒng)真空系統(tǒng),數(shù)量:一套:
2.1
控制單元:西門子或者施耐德控制單元
2.2
操作面板:7’’以上彩色觸摸屏,包含鍍膜系統(tǒng)可視化操作界面和控制功能
2.3
1套高真空測量系統(tǒng),測量范圍:大氣壓到極限真空;
2.4
前級泵:旋片式真空油泵,抽速達12m3/h,帶有油霧過濾器和氣鎮(zhèn);
2.5
高真空分子泵:抽速685l/s(N2),包括控制系統(tǒng);
3
高真空鍍膜系統(tǒng)控制部分,數(shù)量:一套:
3.1
QCM傳感器輸入:4個;
3.2
頻率范圍:4到6 MHz;
3.3
頻率分辨率:+/-0.03Hz在測量周期為0.10秒時;
3.4
頻率穩(wěn)定度:+/- 2ppm,0-50攝氏度;
3.5
測量/更新率:1至10 Hz;
3.6
速率顯示精度:0.01埃/秒;
3.7
厚度顯示分辨率:0.001 kAngstrom;
3.8
流程:100的進程,1000層,50個膜層;
3.9
4個共蒸膜層;
3.10 可實現(xiàn)共蒸控制;
3.11 接口:RS
-232和USB標準;
3.12 包括Windows軟件;
4
1個雙熱蒸發(fā)源:
4.1
兩個熱蒸發(fā)源結構;
4.2
等級:10V@200A=2KVA;
4.3
3個水冷高電壓接頭;
4.4
1個電源(變壓器和控制器);
5
1個單熱蒸發(fā)源:
5.1
單個熱蒸發(fā)源結構;
5.2
等級:10V@200A=2KVA;
5.3
2個水冷高電壓接頭;
5.4
1個電源(變壓器和控制器);
6
2個單有機蒸發(fā)源:
6.1
2套有電源控制的有機蒸發(fā)源
6.2
體積:2立方厘米
6.3
坩堝材質:氧化鋁
6.4
溫度范圍:50℃至600℃
6.5
熱電偶:K型
6.6
包含:源擋板
7
防交叉污染設計:用于隔離各蒸發(fā)源,避免各蒸發(fā)源的交叉污染,數(shù)量四套;
8
蒸發(fā)源擋板:電磁氣動擋板,高度可調,數(shù)量:一個;
9
晶振探頭:用于測量鍍膜厚度,定位靈活,高度可調,水冷,含10個備用晶振片,數(shù)量:兩個;
10 樣品臺擋板,電磁氣動擋板用于保護基片免受非穩(wěn)定蒸鍍材料沉積,擋板高度可調節(jié),數(shù)量:一個;
11 樣品臺,用于夾持蒸鍍腔體內的基片, 基片臺直徑達150mm,襯底旋轉速度可調(0-33 RPM),數(shù)量:一個。
上海端品儀器科技有限公司
趙華明
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