納米壓印光刻技術(shù)在晶體行業(yè)、光學(xué)行業(yè)的發(fā)展領(lǐng)域及其廣闊：

1.晶圓級(jí)光學(xué)加工：2017年發(fā)布的結(jié)構(gòu)光人臉識(shí)別技術(shù)第一次將微納光學(xué)元器件引入了消費(fèi)類電子領(lǐng)域，晶圓級(jí)光學(xué)器件加工的概念也逐漸映入人們的眼簾。

2.2019年高端智能手機(jī)：3D傳感iTOF模組中的勻光片再次引入了納米壓印作為量產(chǎn)手段。

3.2020年AR衍射光波導(dǎo)光柵：加工將納米壓印技術(shù)的應(yīng)用推向面積更大的12英寸，納米壓印終于完成了從科研到大規(guī)模量產(chǎn)的華麗轉(zhuǎn)身。

4.納米壓印原始模具：加工方式有電子束直寫(xiě)、激光直寫(xiě)、光刻、刻蝕、電鍍、機(jī)加工等。如此來(lái)看，模具的潔凈度必須得到有效的保障。因不管是被使用還是自身的制作都是高要求。

5.威固特VGT-1507FT光學(xué)級(jí)超聲波清洗設(shè)備用途：清洗納米模具、光學(xué)器件、晶圓表面粘附的灰塵及污染物；做到清洗后表面不得有油污及其他雜物，達(dá)到的清洗效率可以每天1班，每班12H，清洗每籃節(jié)拍2-4分鐘可調(diào)（以實(shí)際干燥時(shí)間為準(zhǔn)）。

深圳威固特VGT-1507FT光學(xué)級(jí)超聲波清洗機(jī)（整機(jī)共為15個(gè)功能槽）：

原理：清洗過(guò)程中工件通過(guò)超聲波高頻產(chǎn)生的“氣化現(xiàn)象”的沖擊和系統(tǒng)自身不停地作上下運(yùn)動(dòng)，增加了液體的摩擦，從而使工件表面的污垢能夠迅速脫落，實(shí)現(xiàn)其高清潔度的目的。

設(shè)備配置：循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)、浸泡系統(tǒng)、自動(dòng)恒溫系統(tǒng)、溢流系統(tǒng)、拋動(dòng)系統(tǒng)、超聲波清洗系統(tǒng)、慢拉脫水系統(tǒng)、熱風(fēng)烘干系統(tǒng)等。其中清洗部分與慢拉及熱風(fēng)干燥部份分別獨(dú)立電器控制，設(shè)備采用環(huán)保型有機(jī)溶劑洗滌、水溶劑洗滌、純水漂洗、慢拉脫水熱風(fēng)烘干，為自動(dòng)智能式清洗機(jī)。

整機(jī)分部的結(jié)構(gòu)配置系統(tǒng)：

自動(dòng)上下料裝置：

• 上料系統(tǒng)可放置2-4個(gè)清洗籃工位；下料系統(tǒng)可放置1-2個(gè)清洗籃工位。
• 與整機(jī)呈“一”或“T”字?jǐn)[放，可視生產(chǎn)實(shí)際情況穩(wěn)定。
• 清洗籃放置架有防滑落裝置。
• 上、下料結(jié)構(gòu)采用通用清洗籃，能夠?qū)崿F(xiàn)多種零件的通用上料。
• 上下料節(jié)拍通過(guò)感應(yīng)開(kāi)關(guān)與PLC相連，控制上下料節(jié)拍。

為清洗中產(chǎn)生的油污及使用的清潔溶液設(shè)置的結(jié)構(gòu)：

1.每槽設(shè)四面溢流口，溢水槽寬35mm，各槽皆為獨(dú)立循環(huán)槽，由循環(huán)泵將洗劑由儲(chǔ)液箱抽出經(jīng)過(guò)濾后再運(yùn)回清洗槽，即字母槽循環(huán)。

2.設(shè)置獨(dú)立循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)。

3.各槽底部設(shè)排液閥且互相串聯(lián)至總排管。

4.槽內(nèi)設(shè)溫度感應(yīng)器，溫控范圍：RT-100℃數(shù)顯可調(diào)。

5.槽外設(shè)置拋動(dòng)。

6.由隔板分成兩腔，分油后的清潔溶液經(jīng)循環(huán)泵重新抽入清洗槽，實(shí)現(xiàn)自我循環(huán)，提高溶液的利用率，而分離后的油排放到總排管。

7.設(shè)市水進(jìn)口，可分別接至各洗槽及儲(chǔ)液箱。

8.配冷卻水管，由清洗槽內(nèi)溫度感應(yīng)器通過(guò)電磁閥控制加水。

9.配不銹鋼加熱管，功率4KW。

10.設(shè)下限液位開(kāi)關(guān)，水位低時(shí)自動(dòng)聲光報(bào)警，報(bào)警器串聯(lián)。

11.儲(chǔ)液槽底部設(shè)排液閥，與清洗槽串聯(lián)同時(shí)排入總排管。

在超聲波清洗機(jī)中發(fā)生器起到的主力作用：

• 配置第四代超聲波發(fā)生器，從根本上保證超聲波的有效轉(zhuǎn)換率，保證超聲波效果并保證超聲波發(fā)生器質(zhì)量的穩(wěn)定性。
• 超聲波發(fā)生器內(nèi)設(shè)單片機(jī)，內(nèi)附特有的定時(shí)系統(tǒng)，可根據(jù)生產(chǎn)需要任意調(diào)整清洗時(shí)間并形成一對(duì)一的設(shè)置，定時(shí)更具有靈活性，保證清洗的一致性。
• 超聲波強(qiáng)度光電信號(hào)顯示。

慢拉脫水槽、熱風(fēng)烘干槽、工件提升橫移機(jī)構(gòu)、拋動(dòng)機(jī)構(gòu)具備的功能優(yōu)勢(shì)：

• 槽面設(shè)齒狀溢流結(jié)構(gòu)，純水由純水預(yù)熱箱進(jìn)入。槽外貼保溫棉厚10mm。
• 槽體設(shè)備“OMRON”數(shù)顯溫控系統(tǒng)，檢測(cè)槽內(nèi)工作溫度，溫控范圍：常溫～120℃。
• 槽體上部設(shè)抽風(fēng)小孔，將溢出的水蒸汽抽走，放置水氣再次附著于提出的產(chǎn)品上。
• 原理：高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工藝和配置外，更需要良好的脫水效果。工件表面如果有任何垢點(diǎn)或積水點(diǎn)，都將導(dǎo)致制作中的失敗。高純水高溫慢拉脫水是產(chǎn)品高精度清洗必不可少的工序，有效的形成均勻的熱純水膜，迅速散失表面水份，實(shí)現(xiàn)表面高清潔度的目的，為后續(xù)干燥奠定有利基礎(chǔ)。
• 熱風(fēng)烘干槽：每個(gè)烘干槽配置一套氣缸，氣缸帶動(dòng)產(chǎn)品一起運(yùn)動(dòng)，形成密封蓋。
• 循環(huán)凈化熱風(fēng)，經(jīng)高效過(guò)濾后，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行干燥。
• FFU壓風(fēng)系統(tǒng)：在烘干槽正上方的機(jī)架頂部設(shè)置一個(gè)FFU層流送風(fēng)單元。由上往下吹風(fēng)形成負(fù)壓風(fēng)，致使工件加熱后附著物不易粘附。
• 工件提升橫移：由電機(jī)帶動(dòng)鏈條傳送實(shí)現(xiàn)工件的提升下降運(yùn)動(dòng)，電機(jī)采用“松下”伺服馬達(dá)（速度變頻可調(diào)），功率1/2HP。
• 拋動(dòng)電機(jī)通過(guò)偏心輪帶動(dòng)線性滑塊上下運(yùn)動(dòng)，從根本上保證拋動(dòng)的連續(xù)性，減少拋動(dòng)的摩擦阻力，杜絕因工件過(guò)重而損壞拋動(dòng)系統(tǒng)，從而實(shí)現(xiàn)拋動(dòng)架帶動(dòng)洗籃在清洗槽內(nèi)作上下運(yùn)動(dòng)。運(yùn)行穩(wěn)定性好，噪聲小。有利于表面污垢迅速脫落，提高清洗效果。