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普羅帝測控中國有限公司

檢測認證人脈交流通訊錄

普洛帝表面微粒子計數(shù)器P-III

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品？
  • 品　　牌：
  • 普洛帝
  • 主要規(guī)格：
  • 臺
  • 用　　途：
  • 表面污染的量化監(jiān)測和控制
    • 產(chǎn)品介紹 P-III的表面粒子檢測器系列通過以下技術實現(xiàn)電子半導體行業(yè)表面污染的量化監(jiān)測和控制： 核心技術原理 界面顆粒再懸浮技術?：采用先進界面技術，通過物理或氣流方式將附著在關鍵 表面的顆粒重新懸浮，便于后續(xù)檢測。 高精度光學檢測：基于激光光學傳感器和光散射原理，實時捕獲懸浮粒子的散 射光信號，實現(xiàn)單個粒子尺寸的精確分析。 關鍵性能指標 分辨率達0.1微米，支持納米級顆粒檢測； 配備靜態(tài)采樣模式，提升測量精度和穩(wěn)定性；符合ISO-14644-9表面粒子控制標準， 滿足半導體制造中對潔凈度的嚴苛要求 行業(yè)應用優(yōu)勢 減少50%以上的自凈時間及顆粒數(shù)，縮短PM周期，提升制造效率； 通過實時監(jiān)測表面污染，降低因顆粒導致的良率損失和可靠性風險； 適用于晶圓、光學元件、精密電路板等對潔凈度敏感的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。 系統(tǒng)集成設計 支持USB數(shù)據(jù)導出和軟件升級，便于與工廠智能管理系統(tǒng)對接； 采用雙電池熱插拔設計，適應連續(xù)生產(chǎn)環(huán)境的需求。 該系列設備通過量化表面污染數(shù)據(jù)，為半導體制造中的過程控制提供標準化依據(jù)，從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。 傳感器：第七代雙激光窄光檢測器，壽命>200000次 產(chǎn)品特點 智能化設計與操作體驗 7英寸高分辨率觸控屏：支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡化流程。 雙電池熱插拔系統(tǒng)?：支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè)，電池更換無需停機。 USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級?：便捷導出檢測報告，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。 提升制造效率 減少50%自凈時間?：通過量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設備維護周期（PM周期），提升產(chǎn)線吞吐量。 延長MTBC（平均無故障周期）：結合顆粒控制策略，關鍵設備可靠性提升4倍以上。 覆蓋高潔凈場景 半導體制造：晶圓表面、機臺內(nèi)腔等關鍵區(qū)域的潔凈度驗證。 精密光學與電子：液晶面板、光學鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。 符合國際標準 產(chǎn)品嚴格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范，為全球半導體廠商提供標準化檢測工具。 產(chǎn)品參數(shù) 測量粒徑: A 0.3um、2.5um、10um; B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0）um、10um; C0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um; D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um; E0,5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um; F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm; 1、粒徑分布誤差：≤±30% 2、濃度示值誤差：≤±30% 3、重復相對偏差：≤±10%FS 4、重疊誤差：≤5% 5、氣體檢測：可測氣體濃度（可選配） 6、溫度范圍：-40 ～ 120℃ 7、檢定標準：ISO14644-1或 JJF1190 8、氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）； 9、采樣時間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）； 10、檢測模式：數(shù)量模式；質量模式； 凈效模式； 11、檢測方式：定時檢測、循環(huán)檢測可設置 12、報警方式：自定義數(shù)量報警值、質量報警值 13、限值報警：RS485信號報警或外接聲光報警器 14、法 規(guī) 性：權限管控、審計追蹤、電子記錄等 15、合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，JIS B9921 16、通訊接口：RS232、R485、LAN-USB 17、存儲模式：實時、定時存儲可設置；無限制 18、打印模式：可選配微型打印機打印數(shù)據(jù) 19、工作條件：5 ～ 45℃、≤90%RH，無冷凝 20、多掙探針可供選擇

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