SEMI S10 -風險評估的準則

SEMI S10-0815E SAFETY GUIDELINE FOR RISK ASSESSMENT AND RISK EVALUATION PROCESS  

1.風險評估的目的

• 通過風險評估鑒別危害。 SEMI S10提供了對半導體設備及泛半導體行業(yè)設備進行風險評估的架構，風險評估的結果提供給預期使用者，作為EHS的參考。
• 使用這個安全基準進行風險評估，目的是為了提出對策來控制風險。

2.風險評估的方法

   風險評估技術有許多種方法，如風險矩陣法，故障樹分析（FTA）的，事件樹分析（ETA），危險和可操作性研究（HAZOP）和故障模式效應分析（FMEA） 。運用不同的風險評估技術都可以從中識別設備中存在的風險，并根據這些風險來控制風險。

3.風險評估的程序

風險評估，應在設備正在評估階段執(zhí)行以確定和評估潛在的危險。風險評估應在初期設計和更新階段就開始，至設計完成。

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