主要功能

    1.利用納米級光學干涉技術為客戶提供開發(fā)段制程參數(shù)最佳化驗證分析，節(jié)省開發(fā)成本，縮

      短開發(fā)周期

    2?微/納米級機電組件之尺寸量測及表面微觀結構分析

    3?材料表面失效分析、缺陷分析、微觀截面輪廓比對等

    4?摩擦學（摩擦磨損）以及腐蝕表面工程等研究

    5?透明及半透明膜厚測試、曲率半徑分析等

    6?精細表面2D/3D表面粗糙度量測

主要量測參數(shù)

    1?2D/3D表面粗糙度

    2?微觀表面輪廓分析

    3?納米級尺寸檢測

    4?缺陷分析